振膜式压力传感器的工作原理.doc

振膜式压力传感器的工作原理振膜式压力传感器的工作原理振膜式传感器的工作原理与振筒式的相似， 是利用圆形恒弹性合金膜片的固商频率与作用在膜片上的压力有关的原理构成， 在测量压力等参数中褥到广泛的应用。图 7-4-8 表示振膜式压力传感器结构原理图。 空腔 I 的一例的压力膜片 2 的 支架上固定着振动膜片 4。被测压力 p 进入空腔后，膜片 2 发生变形，支架角度改变，使振动膜片 4 张紧，刚度变化，其固有频率发生改变。 该频率随被测压力增加而呈抛物线变化。 在 4 的上、下分别装有激励线圈和拾振线圈。接通电路时，激励线圈中流过交变电流便产：生激励信号使振膜4 产生振动，经拾振线圈将振动能变成电信号输入放大/振荡电路，经放大输出又正反馈给激励线圈，以便维持振膜的振动。