半导体器件PCT老化综合试验系统校准规范JJF(皖) 259-2026.pdf

1、半导体器件PCT老化综合试验系统校准规范JJF(皖) 259-2026讲解了针对半导体封测领域中高温、高湿、高压协同作用下加速老化试验设备的系统性计量校准技术要求与实施方法。该规范明确了适用对象为温度范围（-10150）、湿度范围（60100）%RH、压力范围（00.5）MPa、延时时间（0100）h的PCT老化综合试验系统，覆盖其工作空间内温度偏差、相对湿度偏差、温度波动度、温度变化速率、延时整定误差等关键计量特性，并给出对应的技术指标参考值。规范详细描述了校准所需的环境条件、负载状态选择原则、测量标准器的技术性能要求，包括温度测量系统最大允许误差不超0.2、响应时间小于0.5s，湿度测量分

2、辨力达0.1%RH且误差不超2%RH，压力标准器误差不超0.1kPa，电子秒表日差控制在1.5s以内。规范还规定了校准项目设置逻辑，强调依据GB/T 2423系列标准中的典型试验条件（如85/85%RH、110/85%RH/0.12MPa等）选取校准点，并对测量点布设位置、数量及稳定判据作出具体指引。附录部分提供了校准原始记录、证书内页格式及不确定度评定示例，增强规范的可操作性与结果可追溯性。本规范系安徽省首次发布的地方计量技术规范，依据JJF 1071-2010等基础性计量规范编制，具有法定计量支撑效力。半导体器件PCT老化综合试验系统校准规范JJF(皖) 259-2026适用于半导体封装测试企业、集成电路可靠性实验室、第三方检测机构、环境试验设备制造厂商及计量技术机构中从事PCT老化试验设备量值溯源、验收校准、周期检定和计量确认工作的专业技术人员。特别适用于承担车规级芯片、工业级功率器件、高可靠性电源管理IC等对湿热高压老化试验结果敏感的产品质量验证任务的相关单位。同时适用于省级及以下市场监督管理部门下属计量检定所、产业计量测试中心开展专项计量标准建立、能力验证和现场校准服务的技术人员。规范中关于空载/负载校准条件、多参数同步测量、不确定度评估等要求，亦为高校微电子可靠性研究平台、国家重点实验室构建高精度老化试验量值保障体系提供技术依据。