电子工业厂房综合自动化工程技术标准2018.pdf

1、电子工业厂房综合自动化工程技术标准讲解了电子工业厂房中综合自动化工程的系统性技术要求与实施准则，涵盖从设计、施工到验收移交的全生命周期管理。该标准明确了电子工业厂房自动化系统的功能定位、基本组成及各子系统的技术边界，包括厂务管理控制系统、公共安全系统和信息设施系统三大核心板块。标准详细规定了洁净室环境监控、暖通空调、冷热源、工艺冷却水、压缩空气与大宗气体、纯水站、特种气体及化学品输配、给排水、工业污水处理、能源管理与节能、自动化集成、信号传输线路以及控制中心等十四类专业系统的监控设计原则与技术参数。在工程施工环节，标准强调深化设计与施工图确认机制，规范了图纸会审、技术交底、现场自检、材料设备进

2、场检验、预留预埋协调、测试仪器标定等关键工序。验收移交部分则构建了以检验批、分项、分部工程为层级的质量验收体系，并配套七类标准化记录表格，确保过程可追溯、责任可落实。标准特别将4.3.10、4.4.12等7条条款列为强制性条文，涉及特种气体泄漏报警响应、危化品输送联锁控制、关键工艺参数冗余采集等重大安全底线，必须严格执行。电子工业厂房综合自动化工程技术标准适用于从事集成电路、液晶显示（LCD/OLED）、半导体照明、电子元器件、高端封装测试等电子制造领域的厂房新建、改建与扩建工程的设计单位、系统集成商、施工单位、监理机构及建设单位。同时适用于电子工业洁净厂房内动力供应、环境控制、工艺支持、安全防护及信息化管理等多专业协同的自动化系统规划与实施人员，包括自控工程师、厂务工程师、BAS/EMS系统设计师、消防与安防系统工程师、洁净室运维管理人员以及政府质监、审图机构和标准执行监督部门。本标准亦可作为高校相关专业教学参考及企业内部技术培训依据，尤其对需满足ISO 14644洁净等级、SEMI标准兼容性及中国绿色工厂评价要求的高可靠性生产设施具有直接指导价值。