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压晶体片用高温箱式电炉技术安全操作规程.docx

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上传人:人民至上 文档编号:9478 上传时间:2021-03-17 格式:DOCX 页数:1 大小:16.18KB
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压晶体片用高温箱式电炉技术安全操作规程讲解了压晶体片用高温箱式电炉的操作规程和安全措施。该规程详细说明了操作前的检查步骤,如检查硅碳棒的导电性和发热均匀性、线路畅通和接地可靠性。操作完毕后,需先关闭开关,切断外接电源,并将调压器回档到第一档。在工作过程中,必须严格控制电炉温度,加温时应缓慢升温,最高温度不超过1350,调压时应由低到高,最高调至第五档,最大功率不超过8千瓦。炉温高于400时,禁止开启炉门和取放被烧物件。炉内严禁灼烧酸、碱、易还原的物质和氢气以及潮湿物资、氯物等。热电偶和高温仪表应定期校对,发现故障时,应及时由专人排除。炉内安装的硅碳棒,每炉的阻值应相近似,偏差不超过20%;硅碳棒老化到一定程度,达不到发热要求时,应及时更换,更换的硅碳棒应与原硅碳棒阻值相近。炉膛熔化或陷塌、跑温时,应及时大修,更换炉衬;炉膛内要铺垫氧化铝粉末,并经常清除杂物。压晶体片用高温箱式电炉技术安全操作规程适用于使用高温箱式电炉进行压晶体片生产的工厂和实验室。特别是从事高温材料处理、半导体制造、电子元件生产等行业的技术人员和操作人员,应严格按照规程操作,确保设备的安全运行和人员的安全。

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