1、超精密微机械制造技术研究及进展讲解了随着航空航天、国防工业、电子产业、现代医学和生物工程技术的快速发展，对三维微小零件（尺寸在微米到毫米级）的精度提出了迫切需求。文章回顾并整理了超精密微机械制造技术这一二十世纪80年代初期至90年代逐渐发展的新兴科学领域的国内外研究现状和发展趋势。文中详细阐述了该技术的核心理念，即通过系统化和集成化的理论和技术，将供料、加工、检测、搬运等步骤有效融合，在狭小空间内实现“小零件用小机床加工”的概念，适用于非硅材料如金属、陶瓷等的小型零件加工，解决了小型零件的加工难题。此外，文章还探讨了微机械加工设备的技术进展，包括国内多所高校及科研机构在微小制造系统、微小切削技
2、术等方面取得的成就，并介绍了特殊工艺中超精密加工所需的蚀刻技术和沉积方法。蚀刻技术涵盖湿式和干式两种方法，其中溶液法因其操作简单、成本低廉而被广泛采用；沉积方法则涉及外延生长技术，能够生成高精度立体微机械零件。同时，文章也展望了未来的发展趋势，指出该技术将在二十一世纪为几乎所有工业领域带来翻天覆地的变化。超精密微机械制造技术研究及进展适用于从事航空航天、国防工业、电子产业、现代医学和生物工程等领域研发与生产工作的专业技术人员。对于关注先进制造技术发展趋势的研究人员、工程师以及相关企业的管理人员而言，本文提供了宝贵的信息和参考意见。特别是那些致力于开发和应用微系统与微制造产品的企业，无论是军用还是民用领域，都能从中获得启发。此外，高校和科研院所中参与微机械制造技术研发的师生也能通过本文了解当前国内外的研究动态和技术水平，为后续研究提供方向指引。
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