立式炉安全操作规程.docx

1、立式炉安全操作规程1. 目的为DJ-802V型LPCVD立式炉的开关机安全操作以及设备紧急避险提供指导。2. 范围：本规程适用于 DJ-802V 型 LPCVD 立式炉安全技术操作。3. 参考设备安全使用管理制度4. 职责4.1. 设备工程师负责设备的正常开、关机操作的培训和指导；4.2. 扩散操作者以及设备工程师等相关人员可执行设备的紧急避险程序。5. 开机前确认5.1. 开机前确认住控制器开关、传片单元开关、显示器开关、炉体加热开关、控制器电源开关、DN-130P 极限温度控制器电源开关、FFU 电源开关、照明灯电源开关都在“OFF”位置；若不在，则将开关调整至“OFF”位置。图片5.2.

2、 开机前动力条件确认：打开阀门后观察氮气压力、硅烷压力、二氯二氢硅压力、笑气压力、氨气压力、压缩空气压力、冷却水压力均在压力表绿色区间内。气体压力，SiH4：21kg/cm2，SiH2CL2：0.70.1 kg/cm2，N20：21 kg/cm2，氨气：21 kg/cm2，N2：21 kg/cm2，压空：51 kg/cm2。冷却水流量，正常值为 50010cc/min。图片5.3. LPCVD 的真空泵氮气压力和冷却水压力都在额定值范围内。 （能通过真空泵控制面板的自检）6. 操作顺序6.1. 打开 120V、280V 电源开关6.2. 依次打开控制器电源开关、DN-130P 极限温度控制器电

3、源开关、FFU电源开关、照明灯电源开关、主控制器开关、传送单元开关、显示器开关、炉体加热开关。6.3. 显示器上提示“BACKUP MEMORY INITIALIZE OK？”按 F1 键确认。6.4. 真空系统建立6.4.1. 确认各阀门动作正常且大阀处于关闭状态 （阀控制面板上V71阀 LED灯不亮，即大阀关闭） ；6.4.2. 按真空泵控制面板上的“START”键；6.4.3. 检查真空压力表读数是否在红色箭头指定的 0.2Pa 位置；6.4.4. 捡漏时先开慢抽（V72 阀） ，当真空计读数为 100Pa 以下时再打开快抽（V71 阀） ；6.4.5. 当真空阀路控制器转换到 MANU

4、AL 状态，打开 V5，V8 阀，按“SET”键确认，当容压计和真空计的读数均为零的时候，关闭 V71 阀，计时 3 分钟，漏率不超过 2Pa/min。6.4.6. 通过漏率测试， 慢回填氮气 （0.5slm） 10 分钟， 再快回填氮气 （2slm）15 分钟。6.4.7. 将炉门落下，待机做片。7. 关机程序7.1. 程序结束后依次关闭加热开关，观察 DN-130P 极限温度控制器显示温度降至 50 摄氏度以下，关闭主控制器开关、传送单元开关、显示器开关；7.2. 关闭照明灯电源、关闭 FFU 电源开关、关闭 DN=130P 极限温度控制器电源开关、关闭控制器电源；7.3. 关闭 120V

5、he208V 电源开关7.4. 关闭真空泵：控制面板上的 STOP 键，关闭真空泵泵冷却水，关闭真空泵吹扫氮气，关闭真空泵本电源开关7.5. 关闭冷却水，氮气，压缩空气阀门。8. 注意事项：本 LPCVD 立式炉是集高温、高压、特气于一体的工艺设备，为了保证人身和设备安全，所有人员必须严格遵守下列条款：8.1. 电器安全8.1.1. 不能去掉所有连锁；8.1.2. 炉体电源打开后，严禁打开炉体腔门，需要处理炉体端子时，必须先把高压断开，进行这些操作时，必须两人在场；8.2. 特气安全8.2.1. 本设备使用硅烷作为工艺气体，该气体遇空气极易燃且有毒，燃烧后产生白色粉末，对净化环境产生影响。8.

6、2.2. 未经允许，不准打开或者关闭硅烷阀门，停送气需要提前申请；8.2.3. 硅烷气体管路系统必须气密性良好，一旦发现气体泄漏，立即执行硅烷泄露紧急避险，进行相关处理。8.2.4. 氨气，二氯二氢硅具有腐蚀性的特气，操作者按照日常点检要求进行检查。8.3. 高温安全8.3.1. 出入舟时禁止打开传送腔室前后门，防止炉门打开时受到热辐射。8.3.2. 必须待降至室温且切断加热器断路器的条件下进行炉体加热器部分的保养，维修。8.4. 其它：8.4.1. 执行正常关机程序时不允许直接按红色的“EMERGENCY”按钮进行急停操作；8.4.2. 如遇特气泄漏， 火灾等紧急情况时可以按红色的“EMERGENCY”按钮。