集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范JJF 1238-2022.pdf

1、中华人民共和国国家计量技术规范J J F1 2 3 82 0 2 2集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范C a l i b r a t i o nS p e c i f i c a t i o nf o rT e s t i n gS y s t e m so fM i c r o c i r c u i t sE l e c t r o-s t a t i cD i s c h a r g e(E S D)S e n s i t i v i t y 2 0 2 2-0 9-2 6发布2 0 2 3-0 3-2 6实施国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布集成电路静电放电敏感度测试设

2、备校准规范C a l i b r a t i o nS p e c i f i c a t i o nf o rT e s t i n gS y s t e m so fM i c r o c i r c u i t sE l e c t r o-s t a t i cD i s c h a r g e(E S D)S e n s i t i v i t yJ J F1 2 3 82 0 2 2代替J J F1 2 3 82 0 1 0 归 口 单 位:全国无线电计量技术委员会 起 草 单 位:中国电子技术标准化研究院 本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释J J F1 2 3 82 0

3、2 2本规范主要起草人:邢荣欣(中国电子技术标准化研究院)吴京燕(中国电子技术标准化研究院)参加起草人:蔡依林(中国电子技术标准化研究院)J J F1 2 3 82 0 2 2目 录引言()1 范围(1)2 引用文件(1)3 术语(1)4 概述(1)5 计量特性(3)5.1 人体模型放电(3)5.2 机器模型放电(3)5.3 闩锁模型放电(4)6 校准条件(4)6.1 环境条件(4)6.2 测量标准及其他设备(4)7 校准项目和校准方法(5)7.1 校准项目(5)7.2 校准方法(5)8 校准结果的表达(1 0)9 复校时间间隔(1 1)附录A 原始记录格式(1 2)附录B 校准证书内页格式(

4、1 5)附录C 主要项目校准不确定度评定示例(1 8)J J F1 2 3 82 0 2 2引 言 J J F1 0 7 12 0 1 0 国家计量校准规范编写规则和J J F1 0 5 9.12 0 1 2 测量不确定度评定与表示共同构成支撑本规范编制修订工作的基础性系列规范。本校准规范参考了G J B5 4 8 B2 0 0 5 微电子器件试验方法和程序、A N S I/E S DS TM 5.12 0 0 7 静电放电敏感度测试 人体模型(H B M)器件级、J E S D 2 2-A 1 1 5 C2 0 1 0 静电放电敏感度测试 机器模型(MM)和J E S D 7 8 E2 0

5、1 6 集成电路闩锁测试。本规范是对J J F1 2 3 82 0 1 0 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范的修订,主要修订内容:增加了机器模型和闩锁模型放电校准。将人体放电电压校准范围由(5 0 080 0 0)V扩展到(1 0 080 0 0)V。在人体模型放电参数校准中,增加了5 0 0负载下放电电流参数的校准。修订了测量不确定度评定的示例。本规范历次版本发布情况:J J F1 2 3 82 0 1 0。J J F1 2 3 82 0 2 2集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范1 范围本规范适用于集成电路静电放电敏感度测试设备(人体模型、机器模型和闩锁模型)的校准。2 引用文件G

6、 J B5 4 8 B2 0 0 5 微电子器件试验方法和程序AN S I/E S DS TM 5.12 0 0 7 静电放电敏感度测试 人体模型(H BM)器件级F o rE l e c t r o s t a t i cD i s c h a r g eS e n s i t i v i t yT e s t i n gH u m a nB o d yM o d e l(H BM)C o m p o-n e n tL e v e lJ E S D 2 2-A 1 1 5 C2 0 1 0 静电放电敏感度测试机器模型(MM)E l e c t r o s t a t i cD i s c h a r g e(E S D)S e n s i t i v i t yT e s t i n g,M a c h i n eM o d e(MM)J E S D 7 8 E2 0 1 6 集成电路闩锁测试(I CL a t c h-U pT e s t)凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。3 术语3.1(人体模型)