集成电路高温动态老化系统校准规范JJF 1179-2007.pdf

1、中华人民共和国国家计量技术规范J J F1 1 7 92 0 0 7集成电路高温动态老化系统校准规范C a l i b r a t i o nS p e c i f i c a t i o no fH i g hT e m p e r a t u r eD y n a m i c I CB u r n-i nS y s t e m 2 0 0 7-0 6-1 4发布2 0 0 7-0 9-1 4实施国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布集成电路高温动态老化系统校 准 规 范C a l i b r a t i o nS p e c i f i c a t i o no fH i

2、g hT e m p e r a t u r eD y n a m i c I CB u r n-i nS ys t e mJ J F1 1 7 92 0 0 7 本规范经国家质量监督检验检疫总局2 0 0 7年6月1 4日批准,并自2 0 0 7年9月1 4日起实施。归口单位:全国无线电计量技术委员会 起草单位:信息产业部电子工业标准化研究所 本规范由全国无线电计量技术委员会负责解释J J F1 1 7 92 0 0 7 本规范主要起草人:王 酣(信息产业部电子工业标准化研究所)吴京燕(信息产业部电子工业标准化研究所)陈大为(信息产业部电子工业标准化研究所)参加起草人:郭守君(桂林电子科技大

3、学)J J F1 1 7 92 0 0 7目 录1 范围(1)2 引用文献(1)3 概述(1)4 计量特性(1)4.1 温度性能(1)4.2 数字驱动信号特性参数(2)4.3 模拟驱动信号特性参数(2)4.4 老化板器件电源参数(2)5 校准条件(2)5.1 环境条件(2)5.2 校准用计量标准、仪表设备(2)6 校准项目及校准方法(2)6.1 设备工作正常性检查(2)6.2 高温试验箱校准(3)6.3 数字驱动信号单元特性参数校准(4)6.4 模拟驱动信号单元特性参数校准(5)6.5 老化区器件电源单元电压设置校准(6)7 校准结果的表述(7)8 复校时间间隔(7)附录A 集成电路高温动态老

4、化系统校准证书格式(8)J J F1 1 7 92 0 0 7集成电路高温动态老化系统校准规范1 范围本规范适用于集成电路高温动态老化系统的校准。2 引用文献G B/T5 1 7 0.11 9 9 5电工电子产品环境试验设备基本参数检定方法 总则G B/T5 1 7 0.21 9 9 6电工电子产品环境试验设备基本参数检定方法 温度试验设备注:使用本规范时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。3 概述集成电路高温动态老化系统用于对集成电路进行高温动态老化试验,主要由控制机、高温试验箱、器件电源单元、信号驱动单元等部分组成,系统结构示意图见图1所示。图1 集成电路高温动态老化系统结构示意图 老

5、化系统中的高温试验箱用于提供集成电路高温动态老化的高温环境。电源单元即老化电源,采用二级电源方式,其中一级老化电源用于提供足够功率的正负一次电压,二级老化电源以一级电源作为输入,参照集成电路器件老化规范要求为老化器件提供电源。老化系统通常分为34个工作区,由4个独立的程控电源为整个系统提供器件电源和信号电源。信号驱动单元是集成电路动态老化的核心子系统,其主要功能是通过主控计算机的编程,产生待老化芯片所需的各种模拟、数字和三态驱动信号波形,以满足集成电路器件的老化需求。4 计量特性4.1 温度性能4.1.1 温度参数温度范围:2 01 5 0;1J J F1 1 7 92 0 0 7温度偏差:3

6、;温度均匀度:2;温度波动度:0.5。4.2 数字驱动信号特性参数4.2.1 数字信号脉冲宽度脉冲宽度范围:1 0 0 n s 最大允许误差:1 0%4.2.2 数字信号幅度电压范围:1 0 0 mV2 0 V 最大允许误差:1%4.3 模拟驱动信号特性参数4.3.1 模拟信号频率频率范围:1 H z 3 2 k H z 最大允许误差:3%4.3.2 模拟信号幅度电压范围:1 0 0 mV2 0 V 最大允许误差:3%4.4 老化板器件电源参数4.4.1 电压电压范围:1 0 0 mV2 0 V 最大允许误差:1%5 校准条件5.1 环境条件5.1.1 环境温度:(1 53 5)5.1.2 环境相对湿度:8 0%5.1.3 交流电源电压:(2 2 01 1)V;(5 01)H z周围无强电磁场干扰及无影响校准系统正常工作的机械振动。5.2 校准用计量标准、仪表设备5.2.1 铂电阻温度计测量范围:-8 02 0 0 最大允许误差:0.25.2.2 温度测试记录仪R T D测量范围:-2 0 06 0 0 最大允许误差:0.0 85.2.3 数字电压表直流电压测量范围:(1 0 0 mV