再生水利用电子级水水源水质TCSES 122-2023.pdf

1、 ICS 13.030.20 CCS Z05 团体标准 T/CSES 1222023 再生水利用 电子级水水源水质 Guidelines for water reuse-Electronic Grade Ultrapure Water Source 2023-12-20 发布 2023-12-20 实施 中国环境科学学会 发 布 T/CSES 1222023 I 目次 前言.II 引言.III 1 范围.1 2 规范性引用文件.1 3 术语和定义.1 4 缩略语.2 5 分级和用途.2 6 水质控制项目及其限值.3 7 处理流程与环节.4 8 安全与风险控制.4 9 取样与检测.4 附录A （

2、资料性）电子级水制备流程及制备环节和技术.5 附录B （资料性）高级处理技术选择.6 附录C （资料性）水质检测方法.7 参考文献.8 T/CSES 1222023 II 前言 本文件按照GB/T 1.12020标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由清华大学提出。本文件由中国环境科学学会归口。本文件起草单位：清华大学、江苏中电创新环境科技有限公司、清华大学深圳国际研究生院、清华苏州环境创新研究院、中国电子系统工程第二建设有限公司、江苏卓胜微电子股份有限公司、武汉京东方光电科技有限公司、北

3、方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、西安蓝晓科技新材料股份有限公司、杭州科百特过滤器材有限公司、沃顿科技股份有限公司、佛山柯维光电股份有限公司、北京安力斯科技发展有限公司、天津中水有限公司、世源科技工程有限公司、中冶京诚工程技术有限公司。本文件主要起草人：胡洪营、田宇鸣、王文龙、吴乾元、熊江磊、巫寅虎、陈卓、黄南、茅帅龙、郭宇彬、刘伟、王宸、寇晓康、高月静、张力、张庆胜、金焱、王思亮、何志明、蔡晓涌、姜威、杨磊、孙青梅、王鹏、梁思懿。T/CSES 1222023 III 引言 随着我国半导体芯片、显示面板等电子工业自主化快速发展，电子级水的需求大幅增加。传统水资源越来越难以满足快速增长的电

4、子级水需求。随着再生水处理技术发展，再生水用途不断拓展，越来越多地用于电子级水水源。但是再生水作为电子级水水源的水质标准缺乏，再生水处理和利用单位缺乏科学指导和规范。本文件是再生水利用系列团体标准的一则，其他标准包括：再生水利用 水中病毒富集方法指南、再生水利用 吸入暴露毒性评价再生水利用 效益评价指南（T/CSES 012019）和水回用指南 再生水中药品和个人护理品类微量污染物处理技术（T/CSES 422021）等。T/CSES 1222023 1 再生水利用 电子级水水源水质 1 范围 本文件规定了用于电子级水水源的再生水分级及水质、处理、安全和检测要求。本文件适用于作为电子级水水源的

5、再生水，包括城镇污水处理厂出水、电子和半导体工业废水、显示面板工业废水经处理后满足相应要求的再生水。2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T 5750.4 生活饮用水标准检验方法 感官性状和物理指标 GB/T 5750.12 生活饮用水标准检验方法 微生物指标 GB/T 6276.1 工业用碳酸氢铵 总碱度的测定 容量法 GB/T 6920 水质 pH 值的测定 玻璃电极法 GB/T 7477 水质 钙和镁总量的测定 EDT

6、A滴定法 GB/T 7478 水质 铵的测定 蒸馏和滴定法 GB/T 11446.6 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法 GB/T 11446.7 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法 GB/T 11446.8 电子级水中总有机碳的测试方法 GB/T 11901 水质 悬浮物的测定 重量法 GB/T 13200 水质 浊度的测定 比浊法 GB/T 18204.2 公共场所卫生检验方法 第2部分：化学污染物 GB/T 41017 水回用导则 污水再生处理技术与工艺评价方法 GB/T 41018 水回用导则 再生水分级 HJ 620 水质 挥发性卤代烃的测定 顶空气相色谱法 HJ 776 水质 32种元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 JJG 376 电导率仪检定规程 ASTM D5127-13(2018)Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries ITRS（2015）International Technology Roadmap for Semi