真空测量系统在线校准规范JJF(蒙) 050-2023.pdf

1、内内蒙蒙古古自自治治区区地地方方计计量量技技术术规规范范JJF（蒙）0502023真空测量系统在线校准规范Calibration Specification for On-LineVacuum Measurement System2023-12-01 发布2024-03-01 实施内内蒙蒙古古自自治治区区市市场场监监督督管管理理局局发布JJF（蒙）050-2023JJF(蒙)0502023真空测量系统在线校准规范Calibration Specification for On-LineVacuum Measurement System归 口 单 位：内蒙古自治区市场监督管理局主要起草单位：包头

2、市检验检测中心参加起草单位：包头天和磁材科技股份有限公司本规范技术条文由起草单位负责解释JJF（蒙）050-2023本规范主要起草人：何宇（包头市检验检测中心）王石塄（包头市检验检测中心）郝大昭（包头市检验检测中心）冯向辉（包头市检验检测中心）参加起草人：魏星（包头市检验检测中心）马建国（包头市检验检测中心）董义（包头天和磁材科技股份有限公司）JJF（蒙）050-2023I目 录引 言.II1范围.12引用文件.13术语和计量单位.14概述.25计量特性.26校准条件.27校准项目和校准方法.38校准结果表达.49复校时间间隔.5附录 A 真空测量系统校准原始记录参考格式.6附录 B 校准证书

3、内容及内页参考格式.7附录 C 真空测量系统示值相对误差测量结果不确定度评定示例.8JJF（蒙）050-2023II引 言JJF 1071 国家计量校准规范编写规则、JJF 1001 通用计量术语及定义、JJF 1059.1测量不确定度评定与表示为基础性系列规范进行编写。本规范为首次发布。JJF（蒙）050-20231真空测量系统在线校准规范1范围本规范适用于测量范围从大气压到 110-8Pa 的真空测量系统在线校准，其他真空测量系统可参照本规范进行校准。2引用文件本规范引用了下列文件：JJF 1050 工作用热传导真空计校准规范JJF 1062 电离真空计校准规范GB/T 3163 真空技术

4、 术语GB/T 3164-2007 真空技术 图形符号GB/T 30434 电阻真空计通用技术条件GB/T 34873-2017/ISO 3567：2011 真空计 与标准真空计直接比较校准凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。3术语和计量单位3.1 术语3.1.1 真空计 vacuum gauge测量低于大气压力的气体或蒸气压力的一种仪器注：通常使用的某些真空计实际上不测量压力（术语中它是以作用在表面上的力来表达的）而是测量在规定条件下与压力有关的某些其他物理量。来源：GB/T 3163-2007，4.1.23.

5、1.2 标准真空计 reference gauges校准真空计时，用来做量值传递或量值参照的真空计。来源：GB/T 3163-2007，4.6.13.1.3 校准系统 system of calibration校准真空计所用的真空系统。来源：GB/T 3163-2007，4.6.23.1.4 真空系统 vacuum system由真空容器和产生真空、测试真空、控制真空等元件组成的真空装置。JJF（蒙）050-20232来源：GB/T 3163-2007，5.1.13.2 计量单位真空测量系统所测量的压力使用的计量单位为帕斯卡（Pa）。4概述真空测量系统常见于冶金、稀土原料生产等行业的真空烧结炉

6、，通常由电阻规管、电离规管及配套的真空计指示单元组成，其中真空烧结炉配套一到多台不同效率的真空泵提供及保持炉内真空条件，真空测量系统测量显示炉内真空压力（示例见图 1）。图 1 真空测量系统组成示意图5计量特性表 1压力示值相对误差（）：序号测量范围最大允许误差1环境大气压110-1Pa50%2110-1Pa110-8Pa20%注：以上指标不做合格性判定，仅供参考。6校准条件6.1 环境条件温度：1535湿度：85%RH6.2 测量标准及其他设备JJF（蒙）050-20233表 2测量标准及其他设备序号装置名称技术要求1标准真空计标准真空计推荐为：磁悬浮转子真空计、电离真空计、电容薄膜真空计；测量范围应覆盖被校真空测量系统的测量范围，扩展不确定度应不大于被校真空测量系统最大允许误差的1/3。压力范围和不确定度能够满足客户校准要求的其他真空计也适用。2可拆卸的真空封接配件用于临时替换真空测量系统的规管安装位置，将标准真空计与被校真空测量系统连接，须保证接口的密封性良好，不泄漏。7校准项目和校准方法7.1 外观检查7.1.1 真空测量系统应具有下列标识：产品名称、型号规格（包括各规管、真空