薄膜陶瓷基板工厂设计标准GBT51453-2024.pdf

薄膜陶瓷基板工厂设计标准GBT51453-2024讲解了薄膜陶瓷基板工厂的设计规范和要求，涵盖了从总则、术语到具体工艺设计、设备配置、建筑与结构、公用设施、电气设计以及环境保护、节能与安全设施等多个方面。该标准详细描述了薄膜陶瓷基板工厂的总体设计原则，包括厂址选择、总图规划及布局等内容。在工艺设计部分，标准明确了工艺流程设计和工艺区划的具体要求。此外，标准还详细列出了基板准备、镀膜工艺、光刻工艺、电镀工艺、刻蚀工艺、激光调阻工艺、激光打孔工艺、划片工艺和测试工艺等基本工艺的技术规范。对于工艺设备配置，标准提供了各工艺环节所需设备的具体配置要求。在建筑与结构部分，标准规定了厂房的建筑设计和结构设计要求。公用设施部分则涉及空气调节和净化系统、给水排水、气体动力等方面的技术要求。电气设计部分包括供电系统、照明、配电和自动控制、通信、信息等内容。最后，标准还特别强调了环境保护、节能与安全设施的重要性，提出了相应的技术措施和管理要求。薄膜陶瓷基板工厂设计标准GBT51453-2024适用于薄膜陶瓷基板工厂的设计、施工和管理，特别是对新建、改建和扩建的薄膜陶瓷基板工厂具有重要的指导意义。该标准不仅为相关设计单位和施工单位提供了详细的技术依据，也为工厂的运营和管理人员提供了规范的操作指南，确保工厂在设计、建设和运营过程中符合国家的相关标准和要求，保障生产的安全性和高效性。