激光共聚焦显微镜校准规范JJF 2160-2024.pdf

激光共聚焦显微镜校准规范讲解了激光共聚焦显微镜的校准规范及其详细的技术要求。该规范由全国几何量长度计量技术委员会归口，由中国计量科学研究院、哈尔滨工业大学等单位起草。规范涵盖了激光共聚焦显微镜的计量特性，包括水平方向长度测量误差、垂直方向长度测量误差、水平方向长度测量重复性、垂直方向长度测量重复性、水平方向正交误差、畸变、最大可测倾角、水平方向拼接误差、垂直方向拼接误差和载物台定位误差。同时，规范还详细规定了校准条件、环境条件、校准项目和校准用标准器，并提供了具体的校准方法。此外，规范还包括校准结果的表达和复校时间间隔，以及附录中的不确定度评定和校准证书格式。激光共聚焦显微镜校准规范适用于激光共聚焦显微镜的校准工作，特别适合于从事材料科学、微纳米加工、半导体器件和生命科学研究的实验室和技术人员。该规范不仅为相关行业的技术人员提供了详细的校准指南，还确保了激光共聚焦显微镜在各种应用中的准确性和可靠性。其他基于共聚焦原理的显微镜校准也可以参考本规范进行操作。