激光平直度测量仪校准规范JJF(浙) 1210-2025.pdf

1、激光平直度测量仪校准规范JJF(浙) 1210-2025讲解了面向基于位置传感器或图像传感器原理、位移分辨力不高于0.1m的激光平直度测量仪所建立的系统性校准技术要求与实施方法。该规范明确了仪器的结构组成与工作原理，指出其以准直激光束光轴为空间直线基准，通过接收靶捕获光斑质心位置，结合操作终端完成直线度、平面度、垂直度和平行度等几何量的高精度测量。规范详细规定了三项核心计量特性：位移示值误差最大允许为（0.001 mm + 1% H），位移重复性不超过0.001 mm，倾角示值误差最大允许为2倍倾角分辨力，并强调校准工作不作合格判定，仅提供可溯源的技术参考。规范系统设定了校准环境条件，包括温度

2、（202）且每小时变化不大于1、相对湿度75%，以及无空气扰动、振动和电磁干扰的稳定场所；列明推荐使用的测量标准，如激光干涉仪（MPE：0.03 m + 1.510L）和分度头（MPEV：2），并给出了具体校准布局与光路配置要求。针对位移示值误差、位移重复性和倾角示值误差，规范分别提供了涵盖水平/竖直双方向、多距离（500 mm、5 m、10 m）、多点均匀布设、往复测量及不确定度评定示例的完整校准流程与数据处理公式。同时明确校准证书应满足JJF 1071-2010要求，附录提供了原始记录、证书内页格式及两项关键参数的测量不确定度评定实例，为校准活动的规范性、一致性和可复现性提供了全面支撑。激

3、光平直度测量仪校准规范JJF(浙) 1210-2025适用于浙江省内法定计量技术机构、第三方校准实验室、制造业高端装备检测中心及大型工业企业计量部门等开展激光平直度测量仪量值溯源工作的专业技术人员。该规范特别适用于航空航天、轨道交通、精密机床、半导体设备制造等对导轨直线度、基面平面度、结构件装配平行度等几何参数有微米级管控需求的先进制造领域。仪器用户包括但不限于重型机械厂、高铁车辆组装企业、光刻机零部件供应商、超精密光学平台集成商等需要使用激光平直度测量仪进行现场安装调试、周期检定或质量过程监控的单位。同时，本规范也为仪器制造商开展出厂检验、型式评价和售后服务提供统一的技术依据，亦可供高校、科研院所从事精密测量研究与教学实践人员在实验计量体系建设中参考应用。