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硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额DB31T792-2026.pdf

1、硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额DB31T792-2026讲解了上海市针对半导体级硅单晶棒、单晶硅抛光片和单晶硅外延片三类产品所设定的强制性单位产品能源消耗限额标准,明确了1级、2级、3级能耗等级的具体数值及其适用对象;描述了该标准作为DB31/7922020的修订版本,在名称、适用范围、术语定义、能耗等级命名逻辑、产品覆盖维度(新增200 mm与300 mm规格)、统计边界、综合能耗计算方法、修正系数规则以及附录中能源折标煤参考系数体系等方面的系统性更新;阐明了不同直径规格下硅单晶棒以“吨标煤/吨”、单晶硅抛光片与外延片以“千克标煤/千片”为单位的分级限额要求,并严格区分现有企业限定值

2、(对应3级)与新建及改扩建项目准入值(对应2级)的技术门槛;规定了涵盖生产系统、辅助系统和附属系统的全链条能源统计范围,细化至多晶硅熔化拉晶、晶棒切片研磨抛光、外延层生长清洗等关键工艺环节;同时废止了对硅单晶研磨片的能耗约束,删减“节能降耗导向”独立章节,强化标准的可执行性、可核查性与产业适配性,体现上海市在半导体材料制造领域推进绿色低碳转型和能效精细化管理的政策导向和技术支撑能力。硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额DB31T792-2026适用于上海市辖区内从事半导体级硅单晶棒、单晶硅抛光片及单晶硅外延片研发、生产和销售的工业企业,特别是单晶硅材料制造企业、集成电路上游材料供应商、硅片代工厂以及相关改扩建项目投资方;适用于地方节能主管部门、市场监管部门、能效评估机构及第三方审核单位开展能耗核查、项目能评审批、合规性检查与绿色工厂评价等工作;亦适用于行业研究机构、标准化组织及高校科研团队在半导体材料能效分析、低碳工艺路径优化、双碳目标下地方标准协同演进等方向开展技术对标与政策研究。该标准不适用于光伏级硅材料生产企业,亦不覆盖非半导体用途的硅片加工活动。

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