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硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额DB31T792-2026.docx

1、硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额讲解了适用于上海市辖区内半导体级硅单晶棒与单晶硅片(含单晶硅抛光片、单晶硅外延片)生产企业的单位产品能源消耗限额强制性技术要求,明确了1级、2级、3级三档能耗等级限值,覆盖直径150 mm、200 mm和300 mm三类主流规格产品;描述了硅单晶棒按吨标煤每吨(tce/t)、单晶硅抛光片和单晶硅外延片按千克标煤每千片(kgce/k)的差异化计量单位及分级限值体系,其中1级代表行业先进节能水平,3级为强制性准入底线;细化了产能利用率定义及其在能耗修正中的应用逻辑;规范了能源统计边界、产品综合能耗计算公式、单位产品能源消耗修正值方法;更新了术语体系,删除原研磨

2、片相关定义与限值,新增硅单晶棒、单晶硅抛光片、单晶硅外延片及产能利用率等关键术语;补充了常用能源品种、电力、热力及耗能工质折标准煤参考系数,强化了标准实施的可操作性与数据可比性;明确本标准替代DB31/7922020,自2026年6月1日起实施,具有法律约束效力。硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额适用于上海市范围内从事半导体级硅单晶棒拉制、单晶硅抛光片切磨抛加工、单晶硅外延片气相外延生长等环节的生产企业,涵盖集成电路用8英寸(200 mm)、12英寸(300 mm)等主流尺寸硅基材料制造企业;适用于新建、改扩建项目的节能评估与能效准入审查,也适用于现有企业单位产品能耗的年度核算、对标评价、节能诊断及政府节能监察工作;同时适用于为上述企业提供能源审计、节能技术改造咨询、能效监测服务的第三方机构,以及参与地方能耗双控考核、绿色工厂创建、碳排放核算的相关管理部门和技术支撑单位。

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