单晶车间事故应急预案.docx

1、单晶车间事故应急预案单晶车间事故应急预案停电事故一.供电公司计划停电（检修设施，计划供电等）针对以上情况，需要注意以下几个方面： 1、供电公司必须提前二天通知公司配电负责人， 确定停电，送电的时间及停电的线路等；公司配电 负责人通过行政办向相关部门发文通知； 2、单晶车间根据单晶炉的每炉拉晶时间，决定 各炉的停炉时间，在停电之前 5 小时必须停炉冷却， 防止停电时炉体过热。 3、停电时，相关部门安排人员仔细检查电器， 供水系统是否正常，单晶车间对单晶炉进行维修保 养。二.突发性停电在正常生产过程中出现突然断电，当班组长首先保持冷静， 做出正确指挥1.班组长工作内容： 发生断电后立即前往一楼开启

2、备用电源（指定熟悉备用电源 的员工），在备用电源也无电时，立即启动柴油发电机，启 动后观察发电机电压 380V 稳定后，合上送电开关。保证冷 却水的正常供应。 送水后指导辅助工协同操作工注意各炉台水压变化，水压在 2.5-3.0，如有异常及时上报班长及相关部门。 在一楼送电的同时，组织现场抢救工作，各炉台操作工处理好自己的炉台，检查是否处理得当。 等待来电的同时安排好岗位工作，操作看好炉内变化记录结 晶时间。停电时采取的措施：若炉子工作时，加热部分停电：1、在控制面板上点击工序重置【此时 UPS 自动供电给 籽晶马达，坩埚马达。在自动状态下(在引晶之后)：180S 之 后，籽晶自动上升 100

3、mm，坩埚自动下降 50mm。但是在 180S 之内退出自动或在手动状态下则不会有以上动作。】使其转换为手动状态,关闭所有转动开关,降低埚位 50mm 左 右,使晶体脱离液面.加热电源转换为功率控制，然后将功率 调整至零。 2、如果断电时间较短,液面未结晶或已结晶且小于 4 分 钟则重启加热电源,将功率慢慢的升至熔料功率融化结晶面 如果晶体长度小于我们规定的长度,则进行回熔处理,如果大 于规定的长度则按照一段标准取出,然后在进行引晶等工作。控制电源断电的处理方法：1、控制电源断电; 在控制面板上点击工序重置，使其转换为手动状态，降埚位 50mm 左右,使晶体脱离液面. 2、如果控制电源无法恢复

4、供电, 当不能及时恢复通电时，则必须关闭 加热器，关闭 S/L、S/R 、C/L、C/R，提升晶棒脱离液面，升高坩埚 位置（液面结晶后半小时顶起热屏），充氩气至常压自然冷却。 3、控制电源恢复供电, 液面未结晶或已结晶且小于 4 分钟则重启加热 电源,将功率慢慢的升至熔料功率融化结晶面，打开 S/L、S/R 、C/L、 C/R，在打开 S/R 晶转 和 C/R 埚转之前确保 S/R 和 C/R 电位器处于零位。 如果我们等径长度大于规定的长度则按照一段标准取出,然后在进行引 晶等工作, 如果晶体长度小于我们规定的长度,则进行回熔处理三.来电后班组长现场指挥工作：a.电源恢复时，立即开真空泵，待

5、半分钟后开抽空阀门，将氩气流量恢 复正常。 b若时间较短（液面未结晶或液面已结晶但小于 10 分钟且石英坩埚未破），按加热 功率开，将功率升至熔料功率。 c若时间较短（液面未结晶或液面已结晶但小于 10 分钟且石英坩埚 未破），按加热 功率开，将功率升至熔料功率。 d熔化结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦发生硅 液面下降，立即停炉并上报管理人员。 e晶体处理同晶变单晶一致，待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功 率，温度稳定后，开始引晶作业。f若停电时间较长（液面结晶已经大于 10 分钟或石英坩埚破裂），快 速提升晶体或 籽晶，使晶体或籽晶脱离液面 150mm。 g在熔体结晶 40

6、分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒 100mm(埚内原料不足 30kg 不必顶起)。停炉，充分冷却后拆炉。重点提示：如若显示电脑控制面板和加热部分电源一起出现断电，操作员工应 该头脑冷静，必须在 2 分钟内关闭炉台 下部氩气球阀，防止炉台副室门自动冲 开，引起重大事故。漏硅的应急处理：1立即关闭功率。 2退出控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。 3关闭埚转。 4快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 5在熔体结晶 40 分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩 埚顶起导流筒 100mm。 6. 关闭真空泵抽气蝶阀，防止硅液进入管道，开启副室球 阀进行抽空，等液面结晶后再开启主室蝶阀，关闭副室蝶阀。 7. 检查各处电线是否紧靠着受热抽空管道，防止引起电线明 火。 8.停炉，充分冷却后拆炉。重点提示：做好前几步后，氩气充到常压的一半左右，使其自然冷却，处理完成后去 炉台下观察坩埚轴波纹管是否破裂漏硅，真 空管道、波纹管边上是否有电线紧挨住，有 无起火等安全隐患，其它地方也要仔细观察， 如有异常及时做出处理。