扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施.docx

扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施讲解了扩散泵抽气系统在运行过程中可能出现的多种常见故障及相应的处理方法。当系统不漏气但极限压力无法达到预期时，可能是由于系统设计不合理或真空规电极放气导致测量不准。长时间使用后性能下降，主要因为扩散泵油氧化变质，需更换新油并按照规定步骤清洗烘干泵芯再装配。突然大气进入扩散泵内部时，应立即关闭高真空阀门并停止加热以防止损坏，之后进行抽气试验判断是否需要换油。拆装后若真空度无法提升，应检查系统的漏气率、加热器状态、供电电压和冷却情况等。机组抽气性能突变且未改动系统时，可能是电炉丝或保险丝断裂。前级泵工作异常同样影响扩散泵正常运作。环境温度、湿度和冷却水温度的变化对抽气性能有较大影响，高温环境下性能会降低。加热功率调整不当也会造成工作状态不稳定，建议找到返油率最低点的合适温度。油蒸气返流污染系统则会导致极限压力不达标，可参考相关文献改进。扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施适用于涉及真空技术应用的行业领域，如半导体制造、材料科学实验、精密光学加工等。这些行业中使用扩散泵进行高真空环境的创建和维持是关键环节之一。文档为操作人员提供了详细的故障排查指南，帮助他们快速识别并解决可能遇到的问题，确保设备正常运行，提高工作效率。此外，它还适用于从事真空系统维护保养的专业技术人员，以及负责实验室或生产车间设备管理的工作人员。