电子工业防尘防毒技术规范讲解了电子工业企业在生产过程中如何有效控制粉尘和毒物的危害，确保作业人员的安全和健康。该标准涵盖了从生产工艺的基本要求到生产厂房的设计，再到工程技术措施的实施，详细规定了通风净化系统的设置、个人防护装备的使用、管理措施的落实、事故应急处置措施的制定以及绩效监测的方法。标准强调了预防为主、防治结合、源头控制、过程可控、综合治理的原则，优先选择尘毒危害小的工艺和设备，积极采用无毒或低毒原（辅）料，以无毒代替有毒、以低毒代替高毒，并对尘毒危害进行综合治理，使其危害控制符合相关要求。同时，该标准还明确了电子工业生产过程中可能产生粉尘、毒物的具体工艺过程，如半导体器件生产中的外延、氧化扩散、化学气相沉积、离子注入、腐蚀、清洗、刻蚀、溅射、塑封等工序，以及其他涉及材料破碎、配制、加工、铸造、热处理、电火花加工、磨削加工、化学处理、电镀、喷砂、油漆、涂装、铅蓄电池生产、电阻电容生产及印刷电路板生产等工艺。电子工业防尘防毒技术规范适用于电子工业企业的生产过程，尤其是那些涉及粉尘和毒物危害的作业场所、工艺过程、设备及原（辅）料的管理和控制。此外，该标准也适用于安全生产和职业病危害监督管理部门对电子工业企业生产过程中粉尘、毒物危害的监督和管理。标准为相关企业和监管部门提供了详细的指导和依据，帮助他们有效控制尘毒危害，改善作业环境，保障职工身体健康，促进生产发展。
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