真空退火炉工安全技术操作规程.docx

1、真空退火炉工安全技术操作规程1.先送水源,检查水源是否畅通,水压0.lMPa,否则不准开炉。2.合上总电源,再合上操作电源。1.开机械泵,分别打开 1 号、2 号闸门。2.合上真空计总电源,接通热电偶电源,调整好加热电流(电流调为 128A)测量真空度。电流为 22mA 时真空度为 10-1Torr(13.3Pa);电流为 84mA 时真空度为 10-2Torr(1.33Pa);电流为 98mA 时真空度为 10-3Torr(0.133Pa)；电流为 10OmA 时真空度为 10-4Torr(0.0133Pa)。5.真空度高于 1.33Pa 以后,打开 3 号真空阀,使扩散泵内的真空度也达到1

2、.33Pa 以上。6.扩散泵送电加热,约 40min 以后,泵油加热蒸发,这时关闭 2 号真空阀,然后再打开高真空阀。7.真空度高于 0.133Pa 后关闭“热电偶电源”,打开“电离计电源”,用电离计测量真空度。8.把电子电位差计的定针调到要求的温度值,把“PID”调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为 40%150%,积分时间为 62.5min,微分时间为 54min)9.把电路电源“手动给定”旋钮调到最小,开关打到“自动”位置,把“PID”调节器的“手动”调到最小,开关打到“手动”位置,并接通“PID”电源。10.电炉送电,调整“PID”的“手动”,使三相电流表的输出指示基本均衡在

3、3070A。11.待炉温接近给定值时,把“PID”的炉温控制从“手动”打到“自动”以便进行自动控制。12.保温时间满足要求后,如工艺要求随炉冷却,可关闭电炉电源。如工艺要求控制冷却,即把“PID”由“自动”打到“手动”,靠“手动”调节冷却。13.350以上不准关闭水源和真空系统,关闭扩散泵时,必须首先关闭高真空阀,然后关闭 3 号真空阀,打开 2 号真空阀。14.关闭机械泵时,先关闭 2 号真空阀,再关闭电源。15.炉温高于 150时,不准放气和打开炉盖。16.工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程,不准脱离岗位,经常注意检查水源、仪器、真空度、电机、变压器、风扇、电表等运行是否正常,发现异常,及时报告处理。