多晶硅制作工安全操作规程.docx

1、多晶硅制作工安全操作规程1开护前应将各管道清洗干净并烘干，然后将各管道按生产流程要求连接好，要确保密封，所有反应釜和流程各段应进行检漏(抽真空在 24 小时之内无明显的压力降)。2生产过程运行时，不能停水，停电。3生产上所用的电气设备，非生产人员切勿乱动。4生产中各管道所连接的开关、铁夹子，不得随意松动。非工作人员不得随便进入生产区。操作者不得随意离开工作岗位。每隔半小时详细记录压力、温度的情况。5生产进行之中，冷井的抽空阀一定要打开，绝不能关死。贮氨筒间的冷凝器加氨气阀要打开，停炉时要关死。6材料要求：(1)氧化铵烘干后要经 40 目分样筛后，装入干燥而密封的容器内；(2)硅镁的合成要在真空

2、度达 999910000 帕(750 毫米汞柱)以上，温度550时进行，并恒温 3 小时，严禁漏气，然后再在常温下降温，直到手触及外壳无灼痛的感觉，才能消除真空取下不锈钢盘进行过筛。得到的硅镁合成粉应贮存在干燥密封的容器内，严禁与水、酸、火接触，以免燃烧和爆炸；(3)液氨的使用要特别注意氨瓶和接管道口的气密性，以免漏气。不要让氨气冲入眼、口、鼻和粘在皮肤上，否则应立即用水冲洗；(4)铣镁屑时，要按镁合金加工的要求进行，加工好的镁屑要保存好，严禁烟火和潮湿。7各设备上所使用的检漏表、气压表、高伏计要定期检查和校正，以免表的失灵而发生事故。8配制清洁液时应注意：水不得往硫酸中注入，一定要将硫酸慢慢加入水中卜配制王水时应将硝酸慢慢加入盐酸中，配制酸液或清洗过程中，应戴上耐酸橡胶手套及口罩和围上耐酸围裙，在通风设备下进行配酸，不要粘入身上，处理废酸废碱时要进行中和后，达到安全排放标准，才可倒入下水道。9清洗汞时要戴上口罩和围上围裙。要小心操作，打开通风柜。不要将汞打翻在地，如有撒在外边，可用硫磺粉及时撒上立即处理。10生产当中严禁吸烟。摘自机械工人安全技术操作规程