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多晶硅制作工安全操作规程.docx

1、多晶硅制作工安全操作规程1开护前应将各管道清洗干净并烘干,然后将各管道按生产流程要求连接好,要确保密封,所有反应釜和流程各段应进行检漏(抽真空在 24 小时之内无明显的压力降)。2生产过程运行时,不能停水,停电。3生产上所用的电气设备,非生产人员切勿乱动。4生产中各管道所连接的开关、铁夹子,不得随意松动。非工作人员不得随便进入生产区。操作者不得随意离开工作岗位。每隔半小时详细记录压力、温度的情况。5生产进行之中,冷井的抽空阀一定要打开,绝不能关死。贮氨筒间的冷凝器加氨气阀要打开,停炉时要关死。6材料要求:(1)氧化铵烘干后要经 40 目分样筛后,装入干燥而密封的容器内;(2)硅镁的合成要在真空

2、度达 999910000 帕(750 毫米汞柱)以上,温度550时进行,并恒温 3 小时,严禁漏气,然后再在常温下降温,直到手触及外壳无灼痛的感觉,才能消除真空取下不锈钢盘进行过筛。得到的硅镁合成粉应贮存在干燥密封的容器内,严禁与水、酸、火接触,以免燃烧和爆炸;(3)液氨的使用要特别注意氨瓶和接管道口的气密性,以免漏气。不要让氨气冲入眼、口、鼻和粘在皮肤上,否则应立即用水冲洗;(4)铣镁屑时,要按镁合金加工的要求进行,加工好的镁屑要保存好,严禁烟火和潮湿。7各设备上所使用的检漏表、气压表、高伏计要定期检查和校正,以免表的失灵而发生事故。8配制清洁液时应注意:水不得往硫酸中注入,一定要将硫酸慢慢加入水中卜配制王水时应将硝酸慢慢加入盐酸中,配制酸液或清洗过程中,应戴上耐酸橡胶手套及口罩和围上耐酸围裙,在通风设备下进行配酸,不要粘入身上,处理废酸废碱时要进行中和后,达到安全排放标准,才可倒入下水道。9清洗汞时要戴上口罩和围上围裙。要小心操作,打开通风柜。不要将汞打翻在地,如有撒在外边,可用硫磺粉及时撒上立即处理。10生产当中严禁吸烟。摘自机械工人安全技术操作规程

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