单晶炉安全操作规范.docx

1、单晶炉安全操作规范1、 开机安全检查单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠；1） 检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？） ；2） 欧陆表输出设定为 0；3） 上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象；4） 检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常；2、装炉时安全事项在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌；3、抽真空安全事项1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态；2）按真空泵操作规程正确操作；3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应

2、无脱落、装反等现象；4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作；4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项1）按工艺操作规程进行正确操作；2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为 0 的状态下操作；3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌；4）禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身；5）清理真空泵及真空管道时，必须在真空泵停止运行的状

3、态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害；6）炉体内清洁时，必须打开炉盖、上升上炉膛并偏移至合适位置，使操作人员操作空间处于敞开状态，避免操作人员处于缺氧环境状态下工作；5、加热器加热过程安全事项在上述检查准备工作就绪，且符合工艺操作规程的前提下，才能开启加热器。1）开启加热器前，必须检查冷却水路开启、水压正常，否则严禁开启加热器；2）开启加热器，必须缓慢增加输出电压或加热功率；严禁超功率或过电流运行；3）在加热器工作过程中，如发现电极打火、过电流等现象或报警，应按直拉应急方案处置，严禁强行升温；4）如遇上述故障，应及时报修，由专职

4、维修人员进行维修，严禁拉晶操作人员擅自修理；6、单晶炉的维修维护安全事项1）单晶炉在维修过程中，必须在显眼位置处悬挂维修警示牌；2）严禁拉晶操作工擅自拆装大型机械部件，以免造成人身伤害；设备专职维修人员在拆装上述部件时，也必须采取相应的安全措施；3）严禁拉晶操作工拆装 220V 及以上的电器、线路，必须由专职维修人员进行维修，专职维修人员维修时，必须穿电工鞋进行操作，以免造成电击危险。4）炉体内维修、维护时，必须打开炉盖、上升上炉膛并偏移至合适位置，使维修人员操作空间处于敞开状态，避免维修人员处于缺氧环境状态下工作；5）禁止维修人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身；