干涉显微镜 JJG77-2006.pdf

干涉显微镜 JJG77-2006讲解了干涉显微镜的检定规程，内容包括范围、引用文献、概述、计量性能要求、通用技术要求和计量器具控制等。该规程适用于双光束干涉显微镜的首次检定、后续检定和使用中检验，并详细规定了干涉滤光片特性、测微鼓轮微分筒刻线锥面与固定套管刻线面之间的距离、测微目镜十字线分划板指标线与毫米分划板刻线相对位置、测微目镜测微鼓轮刻线与毫米分划板刻线相符性、测微目镜示值误差、光学系统成像质量、工作台与主光轴相互位置、辅助成像装置特性以及仪器示值误差等多项计量性能要求。同时，规程还对检定条件、项目、方法、结果处理和检定周期做了明确规定。此外，附录部分提供了干涉显微镜示值误差检定结果不确定度评定和检定证书及检定结果通知书格式。此规程由国家质量监督检验检疫总局发布，中国计量科学研究院起草，全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释，确保了在具体应用中的权威性和指导性。干涉显微镜 JJG77-2006适用于从事精密测量工作的实验室和技术检测机构，特别是那些需要对表面粗糙度参数进行高精度测量的场合。该规程为这些单位提供了详细的检定标准和操作指南，确保了干涉显微镜在使用过程中的准确性和可靠性。无论是科研机构还是工业生产部门，只要涉及到使用干涉显微镜进行微观几何形状特性测量，都可以依据此规程来规范设备的检定流程，提高测量数据的质量，保障产品质量和科学研究的准确性。