电子厂房高纯气体工艺与施工工程(电气工程电气培训讲义).ppt

1、电子厂房高纯气体工艺与施工工程讲解了近年来电子产业中高纯气体的应用特点，强调集成电路生产对高纯气体的严格要求。讲义指出近十年间半导体制造业快速发展，使高纯气体的重要性显著提升，尤其关注气体的纯度、干燥度和洁净度三项指标。文中引用中国GBJ7384洁净厂房设计规范以及日本对于超高纯气体的标准定义，并阐述了集成电路生产工艺中的各类气体分类。具体提到普通（大宗）气体如氢、氮、氧等；以及多种特殊用途气体用于不同制造环节包括刻蚀、掺杂和其他特定工艺。还详细解析了不同类型气体的供应方式，例如高压钢瓶和液态储存罐供气模式，特别是如何应对易燃易爆及有毒腐蚀性气体的安全存放和使用。文章描述了几种典型的供气系统布

2、局，包含现场制气与集中供给两种形式：现场建设制气站配以管道配送体系能够灵活应对大用量需求场景；而由专业厂家提供液态气体或高压瓶装形式则是更为通用且高效的外部采购方案，每种系统都配有相应的控制设备以确保气体质量。电子厂房高纯气体工艺与施工工程适用于电子厂房的设计工程师和技术人员，特别是在规划建设和维护涉及高纯度特种气体处理系统的工作人员。这份文档同样适合从事电子元件制造行业的管理层阅读了解，帮助他们掌握必要的技术知识来做出科学决策，确保生产的连续性和产品的可靠性。此外，也适合高等院校相关专业的师生参考学习，为科研工作提供更多理论依据和实践经验。该文件还可作为培训资料指导新入职员工熟悉电子工厂内关于高纯度特种气体应用的基础流程及操作规范，提高他们的业务能力和服务水平。