产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性GBT33523.604-2022.pdf

产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法第604部分讲解了非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性，这项标准针对表面结构测量中涉及的非接触式测量技术进行了详细规范。文档深入探讨了相干扫描干涉式仪器的原理，涵盖了此类设备的工作机理、光束路径以及如何利用激光进行精确高度和位移检测的过程。该部分内容详尽阐述了相干性、波长选择及光学设计要点，并解释了通过相位变化分析获取微纳米级别形貌数据的方法，确保仪器能够准确可靠地测量微观几何特征。产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法第604部分适用于机械制造与精密加工行业的质量控制领域。特别适用于那些需要严格管控零部件表面质量以满足高端制造业如航天航空、汽车工程、半导体芯片生产等领域对精度极高要求的企业。这些企业往往依赖高精度的非接触式测量技术来保证产品性能稳定性和可靠性。此标准提供的指导原则和技术参数可以作为研发部门选购合适测量工具或评估现有设备升级需求的重要依据，也为实验室在建立标准测量流程提供了可靠的参考框架。