微机电系统（MEMS）技术 术语GBT26111-2023.pdf

微机电系统（MEMS）技术 术语GBT26111-2023讲解了有关微机电系统技术领域中的重要定义和基本概念，确保各参与方在交流过程中对专业术语有统一认识。该标准规定了一百三十项与MEMS相关的常用技术词汇的定义以及描述性的解释信息。这些定义涵盖了MEMS设计制造工艺过程里用到的核心名词，包括结构、材料类别以及功能器件名称等多方位内容，比如加速度计陀螺仪等传感装置，同时针对不同类型MEMS产品特性参数提供了规范表述，从微观元件几何尺寸量度到宏观物理性质评价指标均做了详细界定。此外对于部分涉及制备手段与检测方法学的专门语汇也进行了说明，以指导行业从业者正确认识并科学选用适合的技术方案实施相关作业。微机电系统（MEMS）技术 术语GBT26111-2023适用于各类从事微机电系统技术研究开发工作的科研机构，同时也面向生产制造商，在产品规划初期能够依据此文本建立严谨的概念框架并准确表达技术需求；另外，对教学机构来说可以将其纳入课程体系之中，作为授课参考资料辅助培养学生对于专业知识的理解能力，有助于缩小因地域或企业文化差异导致的专业语言障碍差距，保障整个MEMS技术产业链内部不同环节之间高效协作沟通，推动本产业快速健康发展。