清洗间安全管理规范.doc

1、清洗间安全管理规范讲解了超净清洗间的各项管理规则，从多个方面为保持超净清洗间的安全有序提供了详细的指导。本规定指定了清洗间负责人需履行监督和违规行为制止职责。规范说明有机与无机化药必须分置在独立清洗间使用，在具体湿法刻蚀、腐蚀工艺中明确有机和无机清洗的操作要求，并强调通风柜不可串用两种化学药品的作业。同时文档阐述个人防护措施的重要性，无论是无机或涉及有毒、剧毒化药进行的有机清洗操作，均须根据不同的情况正确佩戴相应的防护装备。文档详细介绍了在清洗过程中节约使用化学品等耗材的规定及标识要求，确保使用者合理高效利用资源且避免浪费。对新液管理和废液处理也有专门规定，特别是对于有特殊成分（如含有高比例浓

2、硫酸）的废物处置进行了具体要求，以保障废液处理过程安全规范。另外，文件还涉及到清洗器具的正确使用以及操作前后应做的检查维护工作的具体事项。最后对含氟化药品的特殊操作容器选择给出严格限制，并指出配制无机溶液时加入顺序，这些都有利于降低事故发生的概率，保证工作环境安全可靠。清洗间安全管理规范适用于超净清洗间的管理者、技术操作员及辅助人员等全体参与清洗流程相关人员，旨在为其提供一整套可执行的操作手册。此管理规范覆盖了微电子生产行业中超净环境相关的清洁操作区域，尤其是针对需要精细处理和高度安全保障的空间。通过制定该标准文件来保障工作人员的人身安全，保护工作设备的稳定运行，并维持良好而严格的实验室秩序。