微机电系统MEMS技术-安全资料_安全生产管理_安全生产文库 - 安全人之家

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<em>微机电</em><em>系统</em>（<em>MEMS</em>）<em>技术</em> 术语GBT26111-2023.pdf

微机电系统（MEMS）技术术语GBT26111-2023.pdf

时间: 2023-12-17 页数: 38

<em>微机电</em><em>系统</em>（<em>MEMS</em>）<em>技术</em> 硅基<em>MEMS</em>微结构弯曲强度试验方法GBT42895-2023.pdf

微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法GBT42895-2023.pdf

时间: 2023-11-01 页数: 12

<em>微机电</em><em>系统</em>（<em>MEMS</em>）<em>技术</em> 硅基<em>MEMS</em>纳尺度结构冲击试验方法GBT42896-2023.pdf

微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法GBT42896-2023.pdf

时间: 2023-11-01 页数: 12

<em>微机电</em><em>系统</em>（<em>MEMS</em>）<em>技术</em> 硅基<em>MEMS</em>纳米厚度膜抗拉强度试验方法GBT42897-2023.pdf

微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法GBT42897-2023.pdf

时间: 2023-11-01 页数: 11

<em>微机电</em><em>系统</em>（<em>MEMS</em>）材料腐蚀芯片与传感器第1部分：通用要求TCSCP 0059.1-2025.pdf

微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第1部分：通用要求TCSCP 0059.1-2025.pdf

时间: 2025-11-04 页数: 18

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