碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法GBT41153-2021.pdf

1、碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法GBT41153-2021讲解了碳化硅单晶材料中硼、铝和氮这三种杂质元素含量测定的具体方法。该标准文件详细介绍了使用二次离子质谱法进行杂质检测的原理，指出二次离子质谱法通过高分辨率的质量分析技术能够精确地将样品中的不同元素以离子形式分离并定量分析。文件涵盖了从样品制备到最终数据处理的完整流程。对于样品制备部分，明确了如何选取具有代表性的碳化硅单晶样品以及预处理方式，确保样品表面干净且适合测试条件。在仪器操作方面，规定了二次离子质谱仪的校准步骤，包括设定参数范围、选择合适的初级离子束类型等。同时，阐述了数据采集过程中需要注意的问题，例如减少外界

2、干扰对测量结果的影响。为了保证测量结果的准确性与可靠性，还特别强调了质量控制措施，如定期检查设备状态、采用标准物质进行比对验证等。最后，针对实验结果的解释给出了指导原则，帮助使用者正确理解测量数值背后的意义，为相关研究和应用提供科学依据。碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法GBT41153-2021适用于从事碳化硅单晶材料研究、生产和质量控制的专业人士。无论是科研机构还是企业实验室，在涉及碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的精确测定工作时，均可依据此标准文件规范操作流程，确保测试结果的有效性和一致性。此外，对于制定相关政策法规或行业标准的部门来说，本文件提供的技术细节也有助于形成更加严谨合理的规范要求，促进整个行业的健康发展。