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碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法GBT41153-2021.pdf

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上传人：一米阳光 文档编号：116080 上传时间：2022-03-21 格式：PDF 页数：6 大小：524.51KB
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资源描述

本文件规定了碳化硅单晶中砌、铝、氯杂质含量的二次离子质谱测试方法。本文件适用于碳化硅单晶中砌、铝、氯杂质含量的定量分析，

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