1、中 华 人 民 共 和 国 安 全 生 产 行 业 标 准AQ XXXX20XXSafety specification for polycrystalline silicon production（征求意见稿）附件 1ICS 13.100CCS C65备案号AQ多晶硅安全生产规范中华人民共和国应急管理部发布发布XXXX-XX-XX 发布XXXX-XX-XX 实施1.1.1.1.1.1目次前言.II1范围.12规范性引用文件.13术语和定义.24设计与总图布局.34.1基本规定.34.2总平面布置.34.3工艺及生产装置.34.4防火、防爆设计与安全疏散.44.5电气设施.54.6过程自动控制
2、.54.7消防设施.64.8通风与排烟.64.9危险化学品储存.75生产过程安全.75.1一般规定.75.2生产装置开车基本要求.85.3生产装置停车基本要求.85.4三氯氢合成.85.5氯硅烷分离.105.6三氯氢硅还原.105.7还原尾气干法回收.115.8 四氯化硅冷氢化.125.9 二氯二氢硅反歧化.125.10 废气淋洗.13附录 A（规范性）多晶硅生产火灾危险性分类.15附录 B（规范性）多晶硅生产场所空气中主要有毒物质及粉尘容许浓度.16附录 C（资料性）多晶硅生产过程中的危险、有害因素.19附录 D（资料性）多晶硅生产安全规章制度目录.21附录 E（资料性）多晶硅企业重大生产安
3、全事故隐患判定标准.22前言本文件按照GB/T 1.12020标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中华人民共和国应急管理部提出。本文件由全国安全生产标准化技术委员会化学品安全分技术委员会（SAC/TC288/SC3）归口。本文件起草单位：中国氟硅有机材料工业协会、中国化学品安全协会、四川永祥股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、合盛硅业股份有限公司、同轨科技成都有限公司、华陆工程科技有限责任公司、四川晨光工程设计院有限公司。本文件主要起草人：李斌，程长进
4、，杨武明，郑东昊，罗周，王世棋，兰云，韩洪流，王路，朱文刚，贾敏，程渝峰，陈宏愿多晶硅安全生产规范1范围本文件界定了采用三氯氢硅还原法生产多晶硅的术语和定义，规定了企业从设计到生产全过程的安全技术基本要求，包括设计与总图布局中的安全要求、生产过程的安全要求。本文件适用于采用三氯氢硅还原法工艺技术生产多晶硅的企业。采用其他工艺技术生产多晶硅的生产企业可参照执行。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GBZ/T 223工作场所有毒气体检测
5、报警装置设置规范GB 2894安全标志及其使用导则GB 5083生产设备安全卫生设计总则GB 7231工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识GB 12158防止静电事故通用导则GB 15577粉尘防爆安全规程GB 16297大气污染物综合排放标准GB/T 38144.1眼面部防护 应急喷淋和洗眼设备 第1部分：技术要求GB/T 38144.2眼面部防护 应急喷淋和洗眼设备 第2部分：使用指南GB 50016建筑设计防火规范GB 50057建筑物防雷设计规范GB 50058爆炸危险环境电力装置设计规范GB 50073洁净厂房设计规范GB 50140建筑灭火器配置设计规范GB 50160石油化工
6、企业设计防火标准GB 50177氢气站设计规范GB 50257爆炸和火灾危险环境电力装置施工及验收规范GB 50316工业金属管道设计规范GB 50351储罐区防火堤设计规范GB 50370气体灭火系统设计规范GB/T 50493石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准GB 50650石油化工装置防雷设计规范GB 50974消防给水及消火栓系统技术规范GB 51034多晶硅工厂设计规范GB 51283精细化工企业工程设计防火标准AQ 3013危险化学品从业单位安全标准化通用规范HG/T 21581自控安装图册SH/T 3097石油化工静电接地设计规范3术语和定义1.1.1.1.1.2下列术语和定义适用于本文件。3.1多晶硅polycrystalline silicon单质硅的一种形态，硅原子以晶格形态排列成许多晶核，这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，晶粒组合结晶成多晶硅。3.2三氯氢硅还原法 trichlorosilanehydrogenreduction process在一定温度下的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，在硅芯上沉积生长多晶硅；同时具备回收、利用生产过程中伴随产生的氢气
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