碳化硅单晶抛光片GBT30656-2023.pdf

碳化硅单晶抛光片GBT30656-2023讲解了关于碳化硅单晶抛光片的各项技术要求、试验方法和检验规则，旨在确保该类产品的质量和性能达标，为工业应用提供了可靠保障。本标准针对直径2至4英寸范围内的碳化硅单晶抛光片制定具体规范。对于晶体取向，明确了碳化硅单晶的主平面方向；在表面形貌特征方面，描述了包括总厚度变化、局部厚度变化、挠曲度及弯曲度的具体允许偏差，并对表面质量中的微观缺陷如位错线数量等进行规定；机械强度属性涵盖了破裂阈值的要求；电阻率、少数载流子寿命这些电气参数也被纳入考量范围之内；外观检查则详细说明了目视检测可接受的标准和不允许存在的瑕疵类型；此外，还规范了如何抽样、样品制备以及依据哪些具体步骤执行各项检测。碳化硅单晶抛光片GBT30656-2023适用于半导体行业领域内从事研发、生产和质检工作的专业人员。这份标准能够帮助相关技术人员了解高质量碳化硅单晶抛光片的关键参数与特性，在设计新型器件时选择合适的基础材料，也适用于制造企业对成品进行严格的质量控制与保证过程中的自检或送第三方认证机构审查环节。