半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法(ZDD)GBT43894.1-2024.pdf

半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法(ZDD)讲解了利用高度径向二阶导数法对半导体晶片的近边缘区域进行细致而全面的形态评估准则与实施办法。通过对晶片几何参数、测试方法学以及相关仪器设备要求等关键要素展开详细论述，这份文献强调了ZDD技术在确保晶片边缘加工质量、改善生产工艺及产品可靠性方面的突出意义。文献定义并解释了适用于该方法的术语及其内涵，描述了不同类型的测量设备与条件配置，以达成标准化的操作模式，还分析了数据收集过程中的潜在影响因素以及如何减小这些因素引起的测量偏差。另外，针对实际应用中可能遇到的问题，提出了一系列指导原则来保证测量结果的可重复性与一致性，涵盖了从样品准备到数据分析全流程的注意事项，并对如何解读结果提供了清晰明了的方向指引，使读者可以准确把握半导体晶片边缘特征与其性能间的内在联系。半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法(ZDD)适用于从事半导体制造业内的技术研发工程师和质检人员，在研发新型加工技术或优化现有制程时能够依据文中规范执行严格的晶圆边缘检验，提高产品质量。对于高校及研究所的研究人员而言，这一文件提供了一套权威且统一的参考标准，有助于深入研究与探索更先进的制造技术和测试手段，同时也为制定相关的行业规范奠定了坚实基础。