高纯溴化氢中杂质的检测DB13T6139-2025.pdf

高纯溴化氢中杂质的检测讲解了高纯溴化氢中多种杂质成分的检测方法与标准。文章指出，本标准适用于经精制纯化后获得的高纯溴化氢样品，检测的杂质包括氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、水、氯化氢以及多种金属离子的含量。在具体方法上，高纯溴化氢中杂质的检测提出采用氦离子化气相色谱法对气体成分进行检测，通过色谱柱分离后，利用检测器的电离原理对气体含量进行测定。对于水含量，高纯溴化氢中杂质的检测推荐按照光腔衰荡光谱法的标准执行；对氯化氢的含量则通过傅立叶红外光谱仪的测定方法完成；而对于金属离子的含量，则依据电子工业气体的标准测试法进行测定。本标准还设定了检测的限值，并对检测过程中所需使用的设备、材料和标准气体提出具体要求。此外，标准还明确了测试的样品技术指标，以确保检测精度和结果的可靠性。 高纯溴化氢中杂质的检测适用于半导体制造、光电子产业和精密材料制备等领域的相关企业和研究单位，这些行业对气体的高纯度具有严格要求。此外，本文还适合高纯度气体生产企业、实验室和分析测试中心的检测人员参考使用，以提高对生产过程和产品品质的监控能力，从而保障相关生产链条的连续性与高质量运行。