1、中华人民共和国国家计量检定规程J J G7 72 0 0 6干 涉 显 微 镜I n t e r f e r e n c eM i c r o s c o p e s 2 0 0 6-0 5-2 3发布2 0 0 6-1 1-2 3实施国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布干 涉 显 微 镜 检 定 规 程V e r i f i c a t i o n R e g u l a t i o no fI n t e r f e r e n c e M i c r o s c o pe sJ J G7 72 0 0 6代替J J G7 71 9 8 3 本规程经国家质量监督检验检疫总
2、局2 0 0 6年5月2 3日批准,并自2 0 0 6年1 1月2 3日起施行。归口单位:全国几何量工程参量计量技术委员会 起草单位:中国计量科学研究院 本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释J J G7 72 0 0 6 本规程主要起草人:杜 华(中国计量科学研究院)高思田(中国计量科学研究院)参加起草人:赵有祥(中国计量科学研究院)朱小平(中国计量科学研究院)J J G7 72 0 0 6目 录1 范围(1)2 引用文献(1)3 概述(1)4 计量性能要求(3)4.1 干涉滤光片的特性(3)4.2 测微鼓轮微分筒刻线锥面的内棱边与固定套管刻线面之间的距离(3)4.3 测微目镜十
3、字线分划板的指标线与毫米分划板刻线的相对位置(3)4.4 测微目镜测微鼓轮刻线与毫米分划板刻线的相符性(3)4.5 测微目镜的示值误差(3)4.6 光学系统成像质量(3)4.7 工作台与主光轴的相互位置(4)4.8 辅助成像装置的特性(4)4.9 仪器的示值误差(4)5 通用技术要求(4)6 计量器具控制(5)6.1 检定条件(5)6.2 检定项目(6)6.3 检定方法(6)6.4 检定结果的处理(1 0)6.5 检定周期(1 0)附录A 干涉显微镜示值误差检定结果的不确定度评定(1 1)附录B 检定证书和检定结果通知书(内页)格式(1 6)J J G7 72 0 0 6干涉显微镜检定规程1
4、范围本规程适用于双光束干涉显微镜的首次检定、后续检定和使用中检验。2 引用文献本规程引用下列文献:J J F1 0 0 11 9 9 8 通用计量术语及定义J J F1 0 5 91 9 9 9 测量不确定度评定与表示J J F1 0 9 42 0 0 2 测量仪器特性评定技术规范J J G8 1 21 9 9 3 干涉滤光片检定规程使用本规程时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。3 概述干涉显微镜由干涉和显微系统组成,利用光波干涉原理来测量表面粗糙度参数。它是以范围为(5 3 06 0 0)n m的光波波长为标尺,将被测表面与标准光学镜面相比较,再经显微系统高倍放大后,来观察和测量被测表
5、面的微观几何形状特性。双光束干涉显微镜主要用于表面粗糙度评定参数Rz的测量。该仪器可用来测量精密加工零件的表面如平面、圆柱面等外表面,也可用来测量零件表面刻线、镀层等深度。目前常用的仪器外形如图1和图2所示。1调焦鼓轮;2遮光屏;3干涉带宽度、方向调节螺钉;4参考镜微调螺丝;5,6工作台纵横向移动千分尺;7工作台;8光源;9可换滤光片;1 0光阑;1 1测微目镜;1 2测微鼓轮;1 3照相机或监视器装置图1 常用干涉显微镜外形图(一)1J J G7 72 0 0 61测微目镜;2目视、照相转换钮;3照相机或监视器装置;4光源;5干涉带宽度调节钮;6干涉带方向调节钮;7参考镜微调螺丝;8工作台高
6、低移动(调焦)盘;9工作台转动盘;1 0工作台平移盘;1 1工作台;1 2聚焦手轮;1 3测微鼓轮;1 4目镜头转座;1 5滤光片移动手柄;1 6卷片扳手;1 7快门;1 8底座图2 常用干涉显微镜外形图(二)仪器的光路系统简图分别如图3和图4所示。1光源;2聚光镜;3干涉滤光片;4投影物镜;5分光镜;6补偿镜;7,8,1 0物镜;9参考镜;1 1,1 4反射镜;1 2测微目镜;1 3照相物镜;1 5影屏;1 6孔径光阑;1 7视场光阑图3 光路系统(一)2J J G7 72 0 0 61光源;2分光镜;3,4物镜组;5目镜组;6照相物镜组;7反射镜(目视、照相转换);8遮光板(干涉、显微转换);9参考镜;1 0影屏图4 光路系统(二)4 计量性能要求4.1 干涉滤光片的特性干涉滤光片的中心波长范围在(5 3 06 0 0)n m,波长半宽度不超过1 0 n m;一年内最大变化不超过3 n m。4.2 测微鼓轮微分筒刻线锥面的内棱边与固定套管刻线面之间的距离测微鼓轮微分筒刻线锥面的内棱边与固定套管刻线面之间的距离不超过0.4 mm。4.3 测微目镜十字线分划板的指标线与毫米分划板刻线的
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