硅片表面光泽度的测试方法GBT42789-2023.pdf

本文件描述了采用光反射法以 20度,60度或 85度几何条件测试硅片表面光泽度的方法。本文件适用于硅腐蚀片,抛光片,外延片表面光泽度的测试,不适用于表面有图形的硅片的测试。