金及金合金靶材GBT23611-2023.pdf

金及金合金靶材GBT23611-2023讲解了金及金合金靶材的相关标准与技术规范。这项标准围绕着金以及含金的合金材料作为靶材的应用进行了详细阐述，内容包含靶材的尺寸、外观质量、化学成分、微观组织等多个方面的具体要求。标准明确了对金元素及其与其它金属形成的合金，在制作成为靶材的过程中应遵循的技术指标。从尺寸方面看，规定了允许偏差范围，确保不同批次的靶材具有良好的一致性，满足工业化生产的需求。在外观质量上，强调表面不应存在裂纹、气孔等瑕疵，这直接决定了溅射过程中的稳定性以及最终产品的性能表现。关于化学成分，对金和其它合金元素的含量做了严格界定，保证材料性质达到理想状态。针对微观组织，提出晶粒度大小的标准，这是影响靶材物理特性和工作性能的关键因素之一。金及金合金靶材GBT23611-2023适用于从事金及金合金靶材生产制造的企业、研究机构与质检部门等。这些主体在进行相关产品研发、生产工艺设定及产品质量检验时，都需要依据该标准操作，确保所生产的金及金合金靶材符合既定的质量要求，并能够在诸如半导体工业、超大规模集成电路制备、平面显示器件等诸多领域可靠地充当原材料或关键耗材，为后续加工工序提供稳定且高质量的基础保障。